Dans cette étude, nous nous intéressons à l’étude de la résolution d’un problème direct en scatterométrie par réseaux de neurones. Notre étude se base sur des travaux déjà effectués et consiste à la détermination de la signature Scatterométrique d’un réseau périodique connaissant trois paramètres (dimensions géométriques, indices des matériaux et la période). Ayant déterminé le réseau périodique par la connaissance de ces intensités lumineuses, une comparaison sera faite avec le réseau de neurones en calculant l’erreur quadratique et les signatures calculées par la MMMFE.